KARAKTERISASI SENSOR GAS CO BERBASIS BAHAN SnO2 DENGAN METODA SOLGEL MENGGUNAKAN TEKNOLOGI FILM TEBAL

I Dewa Putu Hermida, Driszal Fryantoni, Gesi Soleha

Abstract


Sensor gas SnO2 termasuk sensor yang paling banyak digunakan dan dikembangkan di pasaran, tapi sampai saat ini belum bisa menghasilkan sensitivitas yang tinggi. Dalam penelitian ini dibahas mengenai karakterisasi sensor gas CO dengan teknologi film tebal yang berbahan SnO2. Penelitian yang berjudul “Karakterisasi Sensor Gas CO Berbasis SnO2 Dengan Metode SolGel Menggunakan Teknologi Film tebal” ini diharapkan agar bisa menghasilkan sensitivitas yang tinggi. Dari Hasil XRD didapatkan struktur dari SnO2 adalah rutile tetragonal . Dari pola difraksi terlihat puncak-puncak 110 dan 101 yang menunjukkan pola difraksi yang terbentuk adalah membentuk kristal SnO2. Dari hasil SEM ditunjukkan bahwa ukuran sensor berukuran mencapai 264 nanometer. Dari hasil EDS (Energi Dispersy X Ray spektrocopy) ditunjukkan bahwa lapisan sensor yang terbentuk memiliki komposisi O (Oksigen) dengan persen massa 21.23 %), Sn (Stanum) dengan persen massa 78.77%. Pengujian sensor dilakukan untuk mengetahui pengaruh perubahan temperatur operasional dan konsentrasi gas terhadap resistansi sensor. Perubahan yang terjadi dalam sensor gas ini, berupa resitansi menurun dengan bertambahnya temperatur, nilai resistansi yang menurun seiring dengan bertambahnya konsentrasi gas CO. Dari hasil pengujian tersebut diketahui bahwa komponen-komponen penyusun sensor dapat merespon adanya gas CO. Nilai Sensitivitas yang baik didapat dari hasil pengujian untuk rentang konsentrasi gas 0 - 500 ppm adalah 9.10-3/ppm.

Full Text:

PDF

References


A.V. Patil, C. G. Dighavkar, S. K. Sonawane, S. J. Patil, R. Y. Borse, Effect of Firing Temperature on Electrical and Structural characteristic of Screen Printed ZnO Thick Film, Journal of Optoelectronic and Biomedical Materials, Vol. 1,2009.

Anonim http://www.google.com/search?SnO2 .

Anonim http://www.kimianet.lipi.go.id/utama.cgi?artikel&1100398016&2 20 september 2008 Australia : Prentice Hall.

B. LICZNERSKI, Thick-film Gas microsensors based on tin oxide, Faculty of Microsystem Electronics and Photonic, Wroclaw, Poland.

Barsan N. “Gas sensing Mechanisms in Thick and Parous SnO2 layers”, Institute for Interface Analysis and Sensors, Tuebingen, Germany.

C. J. Brinker and G. W. Scherer, Sol-Gel Science - The Physics and Chemistry of Sol-Gel Processing, New York, Academic Press, 1990.

Departemen Pendidikan Nasional Universitas pendidikan Indonesia. (2010).

Haskard, Malcolm, R. (1988). Thick Film Hibrid. Manufacture and Design.

Pedoman penulisan Nasional Karya Ilmiah. Bandung: Departemen Pendidikan Universitas pendidikan Indonesia.

Van Vlack.H larence.1992.Ilmu dan Teknologi Bahan (Ilmu Logam dan bukan Logam (Terjemahan Sriati Djaprie).edisi kelima.Jakarta.Erlangga.

Weimar U., “Understanding the fundamental principles of metal oxide based gas sensors; the example of CO sensing with SnO2 sensors in the presence of humidity”, Institute of Physical and Theoretical Chemistry, University of Tuebingen, Germany. 2003.


Refbacks

  • There are currently no refbacks.